現代三坐標測量機都配備有計算機，由計算機來采集數據，通過運算輸出所需的測量結果。其軟件系統功能的強弱直接影響到測量機的功能。因此各坐標測量機生產廠家都非常重視軟件系統的研究與開發，在這方面投入的人力和財力的比例在不斷增加。下面對在三坐標測量機中使用的軟件作簡要介紹。
一、編程軟件
為了使三坐標測量機能實現自動測量，需要事前編制好相應的測量程序。而這些測量程序的編制有以下幾種方式。
（一）圖示及窗口編程方式
圖示及窗口編程是最簡單的方式，它是通過圖形菜單選擇被測元素，建立坐標系，并通過“窗口”提示選擇操作過程及輸入參數，編制測量程序。該方式僅適用于比較簡單的單項幾何元素測量的程序編制。
（二）自學習編程方式
這種編程方式是在CNC測量機上，由操作者引導測量過程，并鍵入相應指令，直到完成測量，而由計算機自動記錄下操作者手動操作的過程及相關信息，并自動生成相應的測量程序，若要重復測量同種零件，只需調用該測量程序，便可自動完成以前記錄的全部測量過程。該方式適合于批量檢測，也屬于比較簡單的編程方式。
（三）脫機編程
這種方式是采用三坐標測量機生產廠家提供的專用測量機語言在其它通用計算機上預先編制好測量程序，它與坐標測量機的開啟無關。編制好程序后再到測量機上試運行，若發現錯誤則進行修改。其優點是能解決很復雜的測量工作，缺點是容易出錯。
（四）自動編程
在計算機集成制造系統中，通常由CAD/CAM系統自動生成測量程序。三坐標測量機一方面讀取由CAD系統生成的設計圖紙數據文件，自動構造虛擬工件，另一方面接受由CAM加工出的實際工件，并根據虛擬工件自動生成測量路徑，實現無人自動測量。這一過程中的測量程序是完全由系統自動生成的。
二、測量軟件包
測量軟件包可含有許多種類的數據處理程序，以滿足各種工程需要。一般將三坐標測量機的測量軟件包分為通用測量軟件包和專用測量軟件包。通用測量軟件包主要是指針對點、線、面、圓、圓柱、圓錐、球等基本幾何元素及其形位誤差、相互關系進行測量的軟件包。通常各三坐標測量機都配置有這類軟件包。專用測量軟件包是指坐標測量機生產廠家為了提高對一些特定測量對象進行測量的測量效率和測量精度而開發的各類測量軟件包。如有不少三坐標測量機配備有針對齒輪、凸輪與凸輪軸、螺紋、曲線、曲面等常見零件和表面測量的專用測量軟件包。在有的測量機中，還配備有測量汽車車身、發動機葉片等零件的專用測量軟件包。
三、系統調試軟件
用于調試測量機及其控制系統，一般具有以下軟件。
（1）自檢及故障分析軟件包：用于檢查系統故障并自動顯示故障類別；
（2）誤差補償軟件包：用于對三坐標測量機的幾何誤差進行檢測，在三坐標測量機工作時，按檢測結果對測量機誤差進行修正；
（3）系統參數識別及控制參數優化軟件包：用于CMM控制系統的總調試，并生成具有優化參數的用戶運行文件；
（4）精度測試及驗收測量軟件包：用于按驗收標準測量檢具。
四、系統工作軟件
測量軟件系統必須配置一些屬于協調和輔助性質的工作軟件，其中有些是必備的，有些用于擴充功能。
（1）測頭管理軟件：用于測頭校準、測頭旋轉控制等；
（2）數控運行軟件：用于測頭運動控制；
（3）系統監控軟件：用于對系統進行監控（如監控電源、氣源等）；
（4）編譯系統軟件：用此程序編譯，生成運行目標碼；
（5）DMIS接口軟件：用于翻譯DMIS格式文件；
（6）數據文件管理軟件：用于各類文件管理；
（7）聯網通訊軟件：用于與其他計算機實現雙向或單向通訊。
